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クリーンルーム用ケーブルエントリシステム 

ISO14644に準拠した

クリーンルームとは、空気中の浮遊微粒子の濃度が極めて低い空間です。空気中の浮遊微粒子とは、空気中に浮遊しているすべての粒子や物質のことで、ほとんどの場合、肉眼で確認することは出来ません。アイコテック社製品は、クリーンルーム内での使用を想定し、フラウンホーファーIPAによるISO 14644-1に準拠したクリーンルームクラス1のエミッションテストを受け、認証されています 。 

クリーンルーム用ケーブルエントリシステム概要:

ISO14644-1と他の規格の空気清浄度クラス 


大気中の空気に含まれているわずかな粒子が製品などに付着し、性能に影響を及ぼす可能性が想定される環境においては、クリーンルームが必要です。例えば、医療技術・半導体製造・マイクロシステム技術・医薬品・航空宇宙技術・光学などの分野に当てはまります。

クリーンルームは、ISO14644-1に基づいて、清浄度が1~9クラスに分類されます。それぞれのクラスは、1m³あたりの空気中に含まれる0.1μm以上の微粒子数を基準として分類されます。ISO規格のクラス1は最高基準、クラス9は最低基準となっています。

アイコテックのクリーンルーム用製品は、フラウンホーファーIPAによる試験を受けています。そしてすべての製品がISO14644-1に準拠したISOクラス1に適しており、認証されています。

各業界における清浄度基準


微粒子の排出だけでなく、VOC(揮発性有機化合物)/SVOC(半揮発性有機化合物)のアウトガス値も重要です。これは特に、半導体・光学・航空宇宙産業に適用されます。

ISOクラスでは、空気清浄度の分類は微粒子濃度を基準にしています 

ISO-ACCクラスでは、空気清浄度は化学物質濃度を基準にしています。化学物質の濃度が高くなると、化学物質の汚染につながり、製品やプロセスに悪影響を及ぼす可能性があります。素材だけでなく、ケーブルエントリ製品もその化学的濃度に基づいて分類されます。

ISO-ACCe Class (x) = ISO空気清浄化のための機器の化学的濃度 = AMC クラスの機器

ISO-ACCm Class (x) = ISO空気清浄化のための材料の化学的濃度= AMCクラスの素材

フラウンホーファーIPA認証値は、部分的にもはや超微量領域で測定することができず、「Excellent」から「Very Good」となりました。物質別排出率 (ISO-ACCmクラス) を認められました。ISO-ACCmクラスが小さいほど、材料固有の排出率は低くなります。

フラウンホーファーIPAの試験証明書は、アイコテックへご依頼ください。 japan@icotek.com

洗浄

アイコテックは、クリーンルームに設置されている製品の洗浄に、イソプロパノール70%と蒸留水30%の混合液を使用する事を推奨しています。

過酸化水素(H2O2)気化による汚染除去

クリーンルームは、試運転前やメンテナンス作業後に、微生物や粒子、発熱性物質による汚染を除去する必要があります。効果的な方法は、過酸化水素(H2O2)の気化による洗浄です。過酸化水素は気体状態に変換され、その後の微縮合により、部屋全体とあらゆる表面の最適な除染が行われます。

アイコテック社は、ケーブルエントリーシステムをH2O2洗浄現場において、その使用を推奨しています。適合宣言書に関しては、製品管理部 pm@icotek.com までお問合せください。

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